基板測定
様々な大きさの基板や電子部品に応じた分解能が求められます。動画収録に対応するソフトウェアも必須です。
基板全体や顕微測定にも対応しソフトウェアで動画収録が多い。
基板全体や顕微測定にも対応しソフトウェアで動画収録が多い。
外観 | |||
形式 | CPA-T560□ *レンズが選択できます | CPA-T540□ *レンズが選択できます | A6751 |
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素子数 | 640×480 | 464×348 | 640×512 |
視野角 | 24° | 24° | 11° |
温度分解能 | 0.04℃ | 0.04℃ | 0.02℃ |
空間分解能 | 0.66mrad | 0.9mrad | 0.15mrad |
オプションレンズ | マクロモード:□50µm~ マクロレンズ:□24µm | マクロモード:□71µm~ マクロレンズ:□34µm | ×1レンズ:□15µm~ ×3レンズ:□5µm |
>>測定距離と視野の関係